晶圆在进入光刻机之前，需要先在表面均匀涂上一层光刻胶，再经过涂布、预烘烤、显影和后烘烤等环节，让光刻图案能够被准确显现出来。

涂布 显影机 krf 涂布显影机 前段涂布 2025-09-10 09:23  2